近代物理所大科學(xué)裝置檢驗檢測超凈間國家實驗室,致力于射頻 超導(dǎo)技術(shù)鍍膜、射頻超導(dǎo)腔前沿技術(shù)的研究,我國目前新立項的 北方光源、上海光源升級、C-ADS(中國加速器驅(qū)動次臨界系 統(tǒng))、HIAF(高通量重離子加速器系統(tǒng))等大科學(xué)工程均是本技 術(shù)潛在的應(yīng)用對象。 超凈間潔凈等級涵蓋ISO6級、ISO5級、ISO4級,溫控 14~22±0.5℃,濕度40~60%,其中單個ISO4級(10級)凈面積 約160㎡,凈高4m,氣流流型為垂直單向流。